Obraz SEM krzemowej belki AFM przed modyfikacją (A) oraz po modyfikacji zmniejszającej stałą sprężystości widok główny (B) oraz widok powiększony na wytrawiony wzór (C).

Obraz SEM krzemowej soczewki fresnela o średnicy 10 um, wykonanej przy użyciu technologii Ga-FIB